(代號(hào):SPA 類(lèi)似于日本產(chǎn)品PWA)
淄博金紀(jì)元研磨材有限公司自主研發(fā)生產(chǎn)的精密研磨磨料微粉(SPA),填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)在高檔磨料上的空白,改變了長(zhǎng)期依賴(lài)進(jìn)口的局面,客戶(hù)一致認(rèn)為本產(chǎn)品完全可以替代國(guó)外進(jìn)口的同類(lèi)型產(chǎn)品。
產(chǎn)品特征:SPA是精選優(yōu)質(zhì)的氧化鋁原料,經(jīng)特殊工藝加工而成,該產(chǎn)品硬度高,韌性好,顆粒形狀獨(dú)特(圓片狀),顆粒分布均勻。在研磨過(guò)程中可有效的降低被加工晶片的劃傷率,產(chǎn)品合格率高達(dá)99%以上,表面光潔效果好、損傷層比金剛砂磨料小4-5微米,與國(guó)內(nèi)同類(lèi)產(chǎn)品相比,研磨速率能提高1.5-2倍,材料節(jié)約60%;產(chǎn)品價(jià)格比國(guó)外同類(lèi)產(chǎn)品降低1/2,具有明顯的性?xún)r(jià)比。
是一種非常理想的精密研磨拋光材料。
適用范圍:SPA產(chǎn)品主要適應(yīng)于大直徑晶圓研磨研磨拋光硅片、集成電路工藝減薄的專(zhuān)用加工材料化合物半導(dǎo)體基片,硬質(zhì)玻璃、光學(xué)鏡頭及其它光學(xué)玻璃制品,也可對(duì)精密陶瓷、特殊金屬表面進(jìn)行精密研磨加工,還可用作特種涂料和等離子噴涂的填充料。
粒度規(guī)格:SPA3-SPA50